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年产超10亿的半导体项目开工 超纯水设备严把半导体水质关-尊龙ag旗舰厅官网
近日,葛店芯致半导体产业园项目开工仪式在葛店经济技术开发区举行。据悉,葛店鑫智半导体产业园项目位于湖北省鄂州市葛店经济技术开发区,总建筑面积6万多平方米,包括专业生产厂房三栋、研发办公楼一栋以及员工宿舍、餐厅、仓库、污水处理站等配套设施。项目建成后,年产值可达10多亿元。为中国半导体设备国产化做出积极贡献。
在半导体芯片生产过程中,几乎每道工序都需要超纯水清洗,工件直接与水接触。一旦水质不合格,或水中含有杂质,就会降低装置的性能,降低产量。确保超纯水的质量是中国自主研发芯片的重要基础。传统的超纯水生产工艺采用阴离子树脂交换设备。这种工艺的缺点是,树脂在使用一段时间后应经常再生。随着膜分离技术的不断成熟,采用反渗透工艺,或反渗透后再采用edi和抛光混床工艺生产超纯水。出水电导率可达18.2mω,满足芯片行业用水需求。
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